Revestimento anti-reflexo de substratos de vidro óptico para sistemas de inspecção

Revestimento anti-reflexo de substratos de vidro óptico para sistemas de inspecção

Materiais:

• Substrato de base: vidro de borosilicato de alta precisão (por exemplo, borofloato 33) ou sílica fundida, selecionados por sua extraordinária planitude, estabilidade térmica e resistência química.

• Tecnologia de revestimento: revestimentos dielétricos de várias camadas (por exemplo, MgF2, SiO2, Ta2O5) aplicados através de pulverização de magnetrão de precisão ou de deposição de vapor.

• Tipos de projeto: Personaliza-se como AR de banda larga (espectro visível-NIR) ou revestimento em V (otimização de um único comprimento de onda).

Propriedades essenciais:

1. Refletividade ultra-baixa: Atinge < 0,5% de refletividade superficial (versus 4-8% para vidro não revestido), maximizando o rendimento da luz.

2. Alta eficiência de transmissão: fornece > 99,5% de transmissão de luz em comprimentos de onda alvo, minimizando a perda de sinal.

3. Estabilidade angular: mantém o desempenho em ângulos de incidência de 0-45 ° críticos para a imagem oblíqua.

4. Durabilidade Ambiental: Resiste à deslaminagem, à umidade e à degradação UV sob operação contínua.

5. Qualidade da superfície: a rugosidade sub-Ångstrom (<5Å Ra) impede a dispersão de artefatos de luz.

6. Resiliência térmica e química: Resiste a solventes de limpeza e ciclos térmicos (-60°C a +300°C).

Função principal:

• Para eliminar reflexos errantes e maximizar o contraste em sistemas de inspecção óptica de alta precisão.

• Minimiza imagens de fantasmas e flares causados por reflexos de superfície.

• Melhora a relação sinal-ruído para uma detecção precisa de defeitos.

• Preserva a intensidade da luz através de caminhos ópticos complexos.

Principais aplicações em sistemas de inspecção:

1. Metrologia de semicondutores:

   • Scanners de defeitos de wafer

   • Óptica de inspecção por litografia EUV

   • Sistemas de alinhamento de máscaras

2. Inspecção óptica automatizada (AOI):

   • Verificação da montagem de PCB

   • Detecção de defeitos no painel de exibição (OLED/LCD)

3. Imagem biomédica:

   • Objetivos microscópicos para patologia

   • Lentes de citometria de fluxo

4. Sistemas de visão industrial:

   • Sensores de triangulação a laser

   • Lentes de visão artificial para linhas de montagem

5. TDN no setor aeroespacial:

   • Janela de sonda ultra-sônica

   • Óptica por endoscópio para inspecção de turbinas

6. Testes fotónicos:

   • Placas de interferômetro óptico

   • Janela de espectrômetro

Em essência:Substratos de vidro óptico com revestimento anti-reflexosão componentes de engenharia de precisão que resolvem problemas de precisão induzidos pela reflexão em sistemas de inspeção críticos.Aplicando revestimentos dieléctricos de várias camadas avançados a substratos de borosilicato ultraplanos ou de sílica fundida, obtêm um desempenho de superfície quase invisível (< 0,5% de reflectância), permitindo a detecção de defeitos em escalas de micrômetros/submicrômetros.Estes substratos aumentam directamente a fiabilidade da metrologia de semicondutores, equipamento AOI, e ferramentas de imagem biomédica onde cada fóton importa.